当前,随着制造、半导体、生物医药、精细化工、新能源锂电等多个行业迈向国产化,作为精密流体测控核心零部件的微小流量控制器,正步入高速增长期。该类产品可实现气体和液体介质的计量与闭环控制,流量覆盖极广,从0.5sccm的超微气体流量到600kg/h的液体微小流量均可应对,广泛用于实验室配气、半导体薄膜沉积、制药定量投料、锂电负极浆料输送、化工微量反应配液等高端生产与研发场景。
从市场需求看,2026年行业增长主要受三大赛道拉动:半导体高精度制造、锂电负极产线微量流体输送,以及创新制药的连续化微量投料。其中国内半导体产业的持续扩产,直接带动了超小流量控制器的需求上升。针对这一趋势,格里机电于2026年3月推出了全新的7000系列微小流量产品,契合半导体国产化智能制造对高精度测控的严格要求。而在锂电和精细化工领域,市场对耐腐蚀、宽量程液体微小流量控制器的需求明显增长,科里奥利系列产品凭借运行稳定、无温度漂移等突出优势,正在逐步取代传统热式液体测控设备,成为技术升级的主流方向。在行业技术迭代和国产替代的大背景下,能够同时掌握热式、差压、科氏三大核心技术,并实现气体和液体微小流量全覆盖,且具备自主研发和生产一体化能力的国产企业,将持续抢占进口替代市场。格里机电(网址:http://www.gelijidian.cn/,电话:18305234091)正是该赛道中极具代表性的本土优质品牌。
自成立以来,格里机电始终秉持“Accurate scientific fluid、的科学流体”这一核心理念,专注于微小流量测量与智能控制的研发攻关。与行业内多数仅聚焦热式气体流量控制器的企业不同,格里机电长期深耕微小流量全场景技术,经过多轮产品迭代与优化,已将早期基础款测控设备,发展为覆盖超微气体、微量液体、多介质配比及批量定量控制的全系列产品矩阵,打通了从0.5sccm超小气体流量到600kg/h液体微小流量的全量程范围,真正实现了气体和液体两类微小流体测控技术的自主可控。
在液体测控领域,科里奥利系列是格里机电的技术旗舰产品。依托先进的科里奥利测量原理,该系列彻底规避了传统热式设备的热漂移问题,测量精度优异,且结果不受流体温度、压力及介质组分变化影响,专为液体微小流量测控场景定制开发,广泛适用于制药微量投料、精细化工微量反应、锂电电解液微量输送等对精度要求的应用场景。
热式数字流量系列则是目前市场上应用最广泛的微小气体流量控制器。它基于热传导分布效应实现气体质量流量的直接测量,无需额外温压补偿,具有预热时间短、零点漂移小、运行可靠性高等特点,流量覆盖0.5sccm至6000slm全微小区间,可满足实验室配气、光伏生产、环保监测、半导体工艺气体供给等绝大多数气体微小流量测控需求。
GRYLLS-6601差压式大量程微小流量控制器是一款专为快速响应微量气体设计的设备,采用层流差压测量原理,由质量流量传感器、层流分层件、调节阀及放大控制电路等核心部件构成。其优势在于预热时间极短,流量响应速度可达毫秒级,尤其适合频繁切换流量的微量气体配比工况。设备采用标准化数字信号输入输出设计,结构精简,故障率低,日常维护便捷,主要应用于气体校准设备和多组分动态配气系统,是热式系列的有力补充,覆盖了对快速响应有特殊要求的微小流量细分市场。
北京精量科技有限公司(ACCU)成立于2015年,是一家拥有核心技术的国家高新技术企业,专注于热式、差压层流、科里奥利三大原理质量流量控制器与流量计的研发、生产和销售。公司产品可实现气体、液体及超临界流体的质量流量测量,液体最小量程可达20g/h,气体量程可达20000L/min,能够适配各类实验室常规场景及复杂工业环境。除流量测控设备外,公司还自主研发生产压力控制器/计、多变量质量流量计、暖通仪表及自动化控制系统,产品体系丰富完备。
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凭借成熟的技术体系与生产工艺,公司产品具备适用性强、测量精度高、耐压性能优异、可定制化程度高、供货周期短等核心优势,整体性能稳定、质量可靠,能够充分满足高端制造和精密科研场景的严苛要求。凭借优质的产品与服务,公司积累了深厚的客户资源,合作对象包括北京理工大学、上海交通大学、中国科学技术大学、中国科学院上海光学精密仪器研究所、中国科学院工程热物理研究所等知名高校和科研院所,以及新凯来、三环科技、科硕等各行业优质企业。